학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 2003년 봄 (04/25 ~ 04/26, 순천대학교) |
권호 | 9권 1호, p.1113 |
발표분야 | 재료 |
제목 | Carbon Nanotube grown on Stainless Steel Substrate by Thermal Chemical Vapor Deposition |
초록 | 우수한 전기적, 기계적, 열적 특성을 갖는 carbon nanotube(CNT)가 90년대 초반 처음 발견된 이래로 PECVD법, TCVD법 등을 이용한 합성 및 수소저장, 연료전지, EDLC 등의 응용을 위한 연구가 활발하게 진행되고 있다. Substrate, catalyst 및 합성온도 등은 주요실험변수로서 이들 변화에 따라 CNT의 성장속도, 직경, 밀도등의 물성이 영향을 받는 것으로 알려져 있다. 본 연구에서는 TiO2/CNT형 태양전지로의 응용을 위해 TCVD법에 의해 CNT를 제조하였다. Plasma sputtering에 의해 Ni을 stainless steel 표면에 코팅하여 CNT 제조를 위한 substrate를 준비하였고 이를 이용하여 주요 실험변수인 반응온도, C2H2 유량 변화에 따른 CNT의 물성변화를 고찰하였다. SEM 및 TEM은 CNT 물성고찰을 위해 이용되었다. |
저자 | 주영준1, 문상진1, 소원욱1, 김광제1, 박동순1, 원기훈1, 최호석2 |
소속 | 1한국화학(연), 2충남대 |
키워드 | cnt; tcvd |