화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2017년 가을 (11/15 ~ 11/17, 경주 현대호텔)
권호 23권 2호
발표분야 G. 나노/박막 재료 분과
제목 SAM/ALD 복합공정을 통한 초소수성 표면 특성 분석
초록   본 연구는 Self-assembled monolayer (SAM) 박막 코팅을 통해 발수성을 구현하고 Atomic layer deposition (ALD) 공정을 추가로 진행해 발수성과 기계적 특성을 강화하는 실험을 진행하였다. SAM 코팅은 유기 박막을 형성하는 것이기 때문에, 발수성 측면에서는 뛰어나지만, 기계적 내구성에서 부족하다. 단점을 보완하고 소수성을 더욱 향상시키기 위해, thermal ALD 방식을 통해 SAM이 형성된 기판 위에 aluminum oxide 박막을 증착하였다. Thiol solution의 농도와 기판의 immersing time을 달리하여, 다양한 Coverage를 갖는 SAM 박막을 얻었으며, 그에 따라 ALD cycle을 변화시키며 증착하여 각각의 Contact angle을 측정하고 그 표면 변화를 관찰하였다. Scanning electron microscope (SEM)과 Atomic force microscope (AFM) 분석을 통해 표면 morphology와 roughness, coverage를 관찰하였고, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 분석을 통해 표면 결합 상태에 대한 분석을 하였다. 또한 내부식성, 내마모성 변화를 확인하기 위해 염수분무시험, 낙사마모시험을 추가로 진행하였다.
저자 김경덕, 신소라, 박종완
소속 한양대
키워드 SAM; ALD; Coverage; Contact angle
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