| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2009년 봄 (04/23 ~ 04/24, 광주 김대중컨벤션센터) |
| 권호 |
15권 1호, p.165 |
| 발표분야 |
공정시스템 |
| 제목 |
Delta형 LQG 제어기술 기반의 ILC를 적용한 12인치 급속열처리장치(RTP)의 온도 균일도 제어 |
| 초록 |
급속가열장치는 매회 비슷한 공정이 반복되므로 delta형 LQG제어기술 기반에 모델 오차를 극복하는 반복학습제어(ILC)을 적용한 제어기법이 개발되었다. 개발된 반복학습제어는 선행연구를 통해 개발된 delta형 LQG제어기술과 결합하여 모델에 오차가 발생하여도 기준에 만족하는 웨이퍼의 온도균일도를 보였으며, 시뮬레이션 결과 프로세스와 15% 오차의 모델에서도 성공적인 결과를 확인하였다. 제안된 방법은 웨이퍼 가열을 위한 10개의 텅스텐-할로겐 램프그룹과 온도의 실시간 측정을 위한 6개의 고온계를 가지는 상업용 12인치 회전 급속열처리장치를 대상으로 하였다. 최적화된 delta형 LQG의 해가 물리적으로 적용되지 않아 일부 램프가 0으로 수렴하는 현상은물리적으로 합당한 제한조건을 가하여 ILC의 목적함수를계산함으로써 극복하였다. |
| 저자 |
이세찬1, 이광순1, 원왕연1, 지상현2, 나병철2
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| 소속 |
1서강대, 2(주)코닉시스템 |
| 키워드 |
delta; LQG; ILC; RTP
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| E-Mail |
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| 원문파일 |
초록 보기 |
