| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
1998년 가을 (10/23 ~ 10/24, 조선대학교) |
| 권호 |
4권 2호, p.3781 |
| 발표분야 |
재료 |
| 제목 |
Sonochemistry 을 이용한 Ba(DPM)2 의 합성 |
| 초록 |
최근에 고온 초전도 물질이나 강유전체 물질로 사용 되는 금속 산화물에 대한 연구가 많이 이루어 지고 있다.이런 금속 산화물을 제조하는 방법 중에서 유기금속 화학 증착 공정(MOCVD)은 박막의 조성 조절이 쉽고 층덮힘이 좋아 연구가 집중되고 있다. 그러나 MOCVD 는 유기 금속 전구체의 물성에 의해 공정 조건이 크게 제약 받는 다는 단점이 있다. 유기 금속 전구체는 증기압이 높아야 하며 열과 습기에 안정해야 한다. 이런 조건을 가장 잘 만족 시키는 전구체로는 DPM(dipivaloylmethane )계열의 화합물 이다. 본 연구에서는 Sonochemistry를 이용하여 Ba 전구체를 제조하여 새로운 MOCVD 용 전구 물질 제조법을 제시하였다. 또한 제조된 전구체와 기존의 방법으로 제조된 전 체와의 물성을 측정 비교하였다.
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| 저자 |
이진안, 조성일, 문상흡, 현택환.
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| 소속 |
서울대 |
| 키워드 |
Sonochemistry; Acoustic cavitation; microjet; shockwave
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| E-Mail |
, |
| 원문파일 |
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