| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2016년 봄 (05/18 ~ 05/20, 여수 디오션리조트 ) |
| 권호 | 22권 1호 |
| 발표분야 | D. 구조 재료 분과 |
| 제목 | 내플라즈마 YAS계 세라믹 소재 |
| 초록 | 반도체 웨이퍼 선폭이 미세해지고 공정 환경이 가혹해짐에 따라 내플라즈마성 세라믹스 소재가 요구되고 있다. 기존에 이용되는 소재는 내플라즈마성이 우수한 고가의 Y2O3 벌크 또는 코팅 소재로써 원료가격 및 공정단가의 상승을 야기한다. 이러한 문제를 해결하기 위해서는 소재의 공정 단가를 낮추면서 Y2O3의 내플라즈마 특성에 버금가는 새로운 소재개발 연구가 지속적으로 진행되어야 함이 분명하다. 본 연구에서는 다양한 조성의 내플라즈마 YAS(Y2O3-SiO2-Al2O3)계 유리를 제조하고 평가하여 우수한 내플라즈마 특성 발현에 가장 적합한 조성 및 제조공정을 제시하였다. |
| 저자 | 박의근, 이현권 |
| 소속 | 금오공과대 |
| 키워드 | <P>YAS; Y<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>-Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>-SiO<SUB>2</SUB>; Plasma Resistant</P> |
