| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2009년 가을 (10/15 ~ 10/16, 서울산업대학교 내 서울테크노파크) |
| 권호 | 13권 2호 |
| 발표분야 | 화학공정(포스터) |
| 제목 | An alternate wet etching of glass by using ammonium hydrogen fluoride base etchant |
| 초록 | 일반적으로 유리식각 공정시 유리 식각을 위해 불산을 사용한다. 불산 사용시 악취, HF 가스 발생 및 폐수의 높은 불소농도에 의해 친환경적이지 않으며 불산용액의과도 식각반응으로 인해유리기판 표면 조도가 불균일하고손상이 생긴다. 또한식각공정상 규불화염의 표면 잔류현상이 발생한다. 이에 본 연구에서는 균일한 식각반응 및 규불화염 발생 억제를 위한 식각액을 제조하고자 하였다. 식각액의 제조를 위해 NH4HF2을 주성분으로 하고, 다양한 종류의 첨가제를 첨가하여 제조 하였다. 제조된 식각액을 사용하여 유리를 식각하고 이들에 대한 표면, 두께, 식각속도 등 식각특성을 조사하였다. |
| 저자 | 박현정1, 이진수1, 고영옥2, 이철태1 |
| 소속 | 1단국대, 2비츠로셀 |
| 키워드 | glass sliming; etching; etchant; ammonium bifluoride |
