| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2010년 봄 (04/08 ~ 04/09, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 35권 1호 |
| 발표분야 | 기능성 고분자 |
| 제목 | 유,무기 하이브리드 소재의 하드마스크 합성 및 건식각 특성에 관한 연구 |
| 초록 | 습식공정이 가능하고 고식각 선택비를 가지는 하드마스크를 연구하였다. 상층부(감광제)에 비해 쉽게 식각될 뿐만 아니라, 하층부(Substrate)의 식각이 용이하도록 유,무기 성분을 동시에 가지는 하이브리드 형태의 Single-layer 하드마스크 소재를 합성하였다. 또한 플라즈마를 이용한 건식각(Dry etching)시스템을 이용하여 하드마스크와 감광제간의 식각특성 및 식각선택비를 비교, 분석하였다. |
| 저자 | 송재동1, 유제정1, 김상범1, 황석호2, 이성구1, 이경균1 |
| 소속 | 1한국생산기술(연), 2단국대 |
| 키워드 | hardmask; etching; plasma; |
