| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2007년 봄 (05/11 ~ 05/12, 계명대학교) |
| 권호 |
11권 1호 |
| 발표분야 |
정밀화학 |
| 제목 |
Cleanliness Evaluation of Electronic Parts Using Ozonized DI Water Rinse System |
| 초록 |
세정대상물에 수분이 섞여있는 경우 세정후 남아 있는 수분성오일의 잔류물을 제거하고 져 오존수를 이용한 린스액 사용가능성에 대하여 연구를 수행하였다. 실험에서 이 system의 가능성을 확인하기 위하여 비눗물을 잔사대신 적용하여 실험하였으며 초순수와 오존수에 대한 비교 Test를 수행하였다. 초순수를 사용하였을 때 보다 오존수(오존농도 0.7-3 ppm)를 사용하였을 경우가 보다 효과적인 잔사제거율을 내었으며 더욱이 초음파를 병행 하였을 경우 15초 이내에서 85% 이상의 높은 제거율을 나타내었다. 또한 오존수에서 오존의 농도가 높을수록 그 제거율이 상승 되는 것으로 보아 오존수 린스 액이 유기물제거에 효과가 있음을 알 수 있었다. |
| 저자 |
하순효1, 한종필1, 이병철1, 최진열2, 강두환1
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| 소속 |
1단국대, 2동원EM(주) |
| 키워드 |
Ozonized rinse system; Ozonized water; Ultra sonic wave
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| E-Mail |
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