| 초록 |
황화수소는 투명하고 유독성을 가지며, 폭발성이 있는 가스로 대기 환경을 오염시키는 대표적인 유해가스의 일종이다. 또한 니켈은 강자성 물질이며 p형 반도체 물질이다. 본 실험에서 탄소나노튜브를 형틀로 니켈을 스퍼터링 방법을 통해 증착 한 후 산화공정을 통해 산화니켈(NiO) 나노선을 제작하고 황화수소 감지 특성을 조사 연구하였다. 형틀로 사용하는 탄소나노튜브의 아크방전 합성시간을 조정하며 제작한 센서의 감지 성능을 비교 조사함으로써 나노선의 ensemble 센서 구조를 최적화하였고, 니켈의 증착 시간을 조절하여 니켈산화물 나노선의 굵기를 제어함으로써 최적의 가스 감지 특성 조건을 수립하였다. 또한 산화니켈 나노선의 가스 감지 특성을 비교하기 위해 두께별 산화니켈 박막과 탄소나노튜브/산화니켈 나노선 복합체을 조성별로 제작하여 산화니켈 나노선의 가스 감지 특성을 비교 분석해 보았다. 또한 제작한 산화니켈의 가스 감지 성능을 향상시기기 위해 금 입자를 입히거나 빛에너지를 주어 산화니켈의 황화수소 감지 특성을 향상시켰다. 한편 다른 가스와의 선택성 조사와 SEM, XRD 등의 측정 분석을 통한 복합체의 구조 분석을 수행하였다. |
