| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2018년 가을 (11/07 ~ 11/09, 여수 디오션리조트) |
| 권호 | 24권 2호 |
| 발표분야 | 7. 4차산업과 센서기술(가칭)-오거나이저: 장호원 교수(서울대) |
| 제목 | MEMS 기반 유해가스 정량 분석 마이크로 Gas Chromatography (µGC) 센서 시스템 |
| 초록 | 대기로 유출되는 유해가스는 사회 전체에 큰 위협을 가하는 주요 환경 오염 물질이다. 특히, 화학 작용제 및 유독 화학 물질 등의 유해 화학 물질에의 노출은 인체에 치명적이다. 이러한 유해물질들은 산업 현장을 비롯한 인류가 구축한 다양한 환경 조건에서 지속적으로 생성되어 대기에 유출되고 있으므로 이를 보다 빠르게 검출하고 분석할 수 있는 기술에 대한 사회적 관심이 증폭되고 있다. 현재까지 개발된 수많은 유해물질 진단 방법 중에서 실용화에 근접한 방식으로는 먼저 선택성을 높인 나노 소재를 적용한 나노 센서를 이용하는 방식과 대기 중의 유해물질 혼합물을 성분별로 정량 분석할 수 있는 gas chromatography (GC) 방식이 있다. 나노 소자와 가스와의 선택적 반응을 측정하는 방식의 나노 센서는 단일 종류의 유해물질 측정에는 유용하나 혼합물 측정에는 부적합하다. 반면에 gas chromatography는 유해가스 혼합물 측정에 매우 적합한 방식이지만 기존 장비는 매우 무겁고 부피가 크므로 실험실 환경에서만 사용이 가능하다는 문제가 있다. 따라서, 저농도의 유해가스 혼합물질들을 현장 모니터링하기 위해서는 MEMS 공정 기술 및 나노 소자를 활용하여 유해가스 혼합물을 정량 분석할 수 있는 마이크로 GC 센서 시스템 개발 연구가 필요하다. |
| 저자 | 서정환 |
| 소속 | 홍익대 |
| 키워드 | micro gas chromatography; MEMS |
