| 초록 |
최근에 불순물 도핑된 SnO2 박막은 디스플레이와 태양광 소자의 투명 전도막으로 활용 가능성 때문에 많은 관심을 끌고 있다. 본 연구에서 성장된 SnO2:MgO(MSO) 박막은 라디오파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 사파이어 기판 상부에 증착되었다. MSO 박막은 1mol% MgO(순도 99%)로 혼합된 직경 1인치의 SnO2(순도 99%) 타겟을 고상반응법으로 합성하여 마그네트론 스퍼터링으로 사파이어 기판 위에 준비하였다. MSO 박막의 결정 구조, 투과도, 결정 입자의 크기와 형상은 각각 XRD, UV-VIS 분광계, SEM으로 측정하였다. XRD 측정 결과에 의하면, 급속 열처리를 하지 않은 박막과 온도 570 ℃와 670 ℃에서 급속 열처리를 수행한 박막은 비정질 구조를 나타내었으며, 열처리 온도가 770 ℃와 870 ℃로 증가함에 따라 SnO2 (101) 면에서 회절된 피크의 세기는 증가하였고, 정방정계 결정 구조를 나타내었다. 서로 다른 온도에서 급속 열처리된 MSO 박막의 광학 투과율은 파장 영역 400~1100nm에서 80% 이상 이었으며, 밴드갭 에너지는 약 3.78 eV의 값을 나타내었다. 이외에도, 박막의 밴드갭 에너지와 결정 입자의 상관 관계를 조사하였다. |
