| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교) |
| 권호 |
15권 2호 |
| 발표분야 |
H. Advanced Coating Techniques(첨단 코팅 기술) |
| 제목 |
플렉시블 기판위에 구현된 Ga-doped ZnO 투명전도막 기반 투명 RFID 안테나 제작 및 특성 |
| 초록 |
최근 플렉시블 기판 및 투명전자소자는 유비쿼터스 기술발전을 위한 중요 요소로 부각되고 있다. 본 연구에서는 ZnO계 투명전극 소재를 이용하여 RFID 태그 안테나에 적용하여 그 물리적 전기적 특성을 평가하였다. HFSS 전자계 시뮬레이터를 사용하여 13.56MHz HF 주파수 대역에서 태그 안테나로서의 가능성을 검증한 후 Ga-doped ZnO 타겟을 사용한 RF 스퍼터링 공정에 의하여 스파이럴 안테나 패턴을 구현하였다. 마이크로스트립 선폭 및 선간격을 50~200㎛ 영역에서 조절하면서 안테나 패턴을 설계하였다. S 파라메터, 자기공진주파수 및 Q 값을 시뮬레이션으로부터 도출하였다. Al 2㎛ 증착한 시편에 비하여 약 -10dB 정도의 이득저하가 발생하였으나 리더-태그를 밀착시킨 조건에서 태그 전압검출이 가능하였다. 또한 유리기판 및 PET, PI, PEN 등 플렉시블 기판에 적용된 안테나의 특성을 비교하였다. (본 연구는 교육과학기술부와 한국산업기술재단의 지역혁신인력양성사업으로 수행된 연구결과임) |
| 저자 |
박승범, 김병국, 김정연, 임동건, 박재환
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| 소속 |
충주대 |
| 키워드 |
Ga-doped GnO; RFID; 플렉시블 기판
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