| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 가을 (10/23 ~ 10/24, 조선대학교) |
| 권호 | 4권 2호, p.4005 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Picture Shadow Mask의 식각 공정에 관한 연구 |
| 초록 | 브라운관용 picture shadow mask의 spray etching 공정을 보다 근본적으로 이해하고 이를 통해 생산공정에 직접 적용할 수 있는 etching 속도식을 구하기 위한 일련의 연구를수행하였다. 우선 실험에 의해 공정 변수들이 etch rate에 미치는 영향을 조사하였고, 공정모델링을 통해 etching 속도식을 유도하였다. 이어 속도식으로부터 계산된 값과 실험 data를비교, 분석하였으며 이를 실제 shadow mask의 생산 공정에 적용함으로써 유도된 속도식의유용성을 평가하였다. |
| 저자 | 윤덕선, 여석기, 박진호 |
| 소속 | 영남대 |
| 키워드 | Picture shadow mask; Spray etching; Ferric chloride etchant |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
