| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (04/15 ~ 04/17, 호텔인터불고(대구)) |
| 권호 | 13권 1호 |
| 발표분야 | 고분자 |
| 제목 | micro pore 형태의 molecular sieves를 사용한 HFP 흡착 방법 |
| 초록 | PFCs는 온실가스로 환경문제를 발생하기 때문에 이를 대체할 수 있는 가스가 필요한 상황이다. 고순도 HFP는 PFCs를 대체할 수 있는 적합한 가스이며, 반도체 및 LCD 제조공정에서 사용되고 있다. 본 실험은 molecular sieves 및 carbon molecular sieves를 사용하여 C3F6O 및 CF3C≡CCF3P 등의 PFCs가 함유된 HFP(CF3CF=CF2)를 흡착 정제하는 실험이다. BET 분석을 통해 molecular sieves의 비표면적 및 pore size를 측정하였고, GC 분석을 통해 흡착 파괴점을 확인하였다. 그 결과 C3F6O 및 CF3C≡CCF3P가 감소하는 것을 알 수 있었으며, 99.9% 이상의 고순도 HFP를 얻었다. |
| 저자 | 김은경, 이광원, 하종욱, 박인준, 이수복 |
| 소속 | 한국화학(연) |
| 키워드 | 흡착; HFP |
