화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2007년 봄 (05/11 ~ 05/12, 계명대학교)
권호 11권 1호
발표분야 정밀화학
제목 저온 플라즈마를 이용한 TiO2 박막의 표면개질 후 Visible Light 활성 평가 실험
초록 이번 실험은 저온 플라즈마를 이용하여 TiO2 박막을 개질하여 Visible light 영역에서 활성을 나타내는지 알아보는 실험이다. Slide glass에 제조된 TiO2 gel 에 deep coating으로 박막을 만든 후 400℃에서 4시간 동안 소성을 시켰다. 플라즈마 처리는 질소 플라즈마, 질소 +수소 플라즈마, 질소 + 아르곤 플라즈마를 이용하였다. 플라즈마 파워는 10~300W, 플라즈마 처리시간은 10~60분으로 조절 하였다. Visible light 영역에서 활성을 보기 위해 형광등 아래서 Methylene Blue 용액 분해 실험을 하고 UV-VISIBLE Spectrophotometer를 이용하여 측정 하였다. XRD를 이용하여 TiO2 박막의 구조를 관찰하였고, XPS를 이용하여 TiO2 박막의 성분을 분석 하였다. 저온 플라즈마를 이용하여 TiO2 박막의 표면을 개질 한 결과 Visible light에서 향상된 효과를 볼 수 있었다.
저자 김귀성1, 조동련1, 김병훈2
소속 1전남대, 2조선대
키워드 저온플라즈마; TiO2
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