학회 한국화학공학회 학술대회 1996년 봄 권호 2권 1호, p.937 발표분야 재료 제목 실란 플라즈마에서의 음이온 생성 및 성장 초록 저자 김동주, 김교선 소속 키워드 E-Mail 원문파일 초록 보기 목록보기
