| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교) |
| 권호 | 11권 2호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | Polymer 기판에서 구현 가능한 PEDOT 증착과 Co의 선택적 증착 공정에 관한 연구 |
| 초록 | 현재 차세대 display로 각광받고 있는 flexible display의 구현은 TFT(Thin Film Transistors)의 기판을 유리에서 polymer와 같은 유연성이 좋은 재료로 대체하여야 가능하다. 그러나 기판을 polymer 등의 재료로 사용할 경우 그 특성상 낮은 공정온도가 요구되고, 기판의 유연성 때문에 patterning에 어려움이 있어 실제 공정 적용에 많은 어려움이 따르고 있다. 이에 우리는 이번 연구를 통해 유리기판에서 active layer로 쓰이고 있는 a-Si을 낮은 온도에서도 공정이 가능한 PEDOT으로 대체함으로써 polymer 기판에서의 TFT 공정을 확보하고자 하였고 이와 병행하여 자기조립분자막을 이용한 전극 금속인 Co의 선택적 증착을 통하여 후속 공정에 따른 유기 반도체의 손상을 최소화하고자 하였다. |
| 저자 | 권태욱, 이재갑 |
| 소속 | 국민대 |
| 키워드 | TFT; PEDOT; Co; 자기조립단분자막 |
