| 초록 |
현재 박막트랜지스터는 대면적 기판 위에 형성될 수 있는 장점을 이용하여 액정디스플레이, 레이저프린터 헤드 등의 주변 소자, 그리고 스캐너 등의 이미지센서 및 스마트카드로 개발되어 실용화되고 있으며, 최근 각광받고 있는 유기EL 디스플레이의 구동을 위해서도 사용되고 있다. 특히 vertical type 박막트랜지스터는 기존의 lateral type 박막트랜지스터에 비하여 높은 전류와 짧은 채널길이, 빠른 구동속도, 낮은 구동전압 등의 장점이 있고 또한 유기 발광소자에 쉽게 적용될 수 있는 형태적 특징을 갖는다. 따라서 본 연구에서는 기존의 lateral type 박막트랜지스터를 대신하여 보다 특성이 뛰어난 vertical type 박막트랜지스터를 ITO(source) / CuPc / Al(gate) / CuPc / Al(drain)의 형태로 제조하여 특성을 살펴보았으며 뿐만 아니라 유기발광물질을 제조한 유기박막트랜지스터에 직접 적층하여 유기EL display로의 응용가능성을 살펴보았다.
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