| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2016년 가을 (11/16 ~ 11/18, 경주 현대호텔) |
| 권호 | 22권 2호 |
| 발표분야 | E. 환경/센서 재료 분과 |
| 제목 | 저전력 반도체식 가스센서 구현을 위한 MEMS/NEMS 플랫폼 기술동향 |
| 초록 | 최근 저전력 반도체식 가스센서를 위한 마이크로 기술, 나노 기술을 이용한 연구가 매우 활발히 진행되고 있다. 왜냐하면 소형으로 휴대가 가능하고, 장시간 작동하기 위한 목적에 부합하기 위한 저전력 가스센서가 필요하기 때문이다. 이와 같은 저전력형 반도체식 가스센서의 활용 사례로 스마트폰에 결합하여 앱 (App) 구동을 통해, 고정밀도를 요하지 않는 실내외의 환경오염도를 간편하게 측정, 모니터링하여 클라우드 (Cloud)와 연계하여 측정된 결과를 공유하는 서비스가 가능하다. 축적된 빅데이터 (Big Data)를 활용하여 오염원과 공기의 흐름 등을 분석하여 실내외 공기오염원의 확산을 예측하고, 그 오염원을 제거하기 위한 제어시스템과 연계하여 활용될 수 있다. 본 발표에서는 다양한 저전력 반도체식 가스센서 구현 방법 중에서도 MEMS/NEMS 플랫폼을 이용한 기술에 중점을 둔 연구동향과 본 발표자의 연구 그룹에서 수행된 연구 결과도 함께 발표, 토의하고자 한다. 비록 반도체식 가스센서는 대체로 정밀하거나 선택성이 뛰어나지 않으나, 소형, 저비용으로 제작이 가능하고, 최근 정밀도나 선택성을 향상시키기 위하여, 선택성이 향상된 감지재료와 작동조건 최적화, 그리고, 센서어레이와 연계된 패턴인식과 같은 신호처리/분석 기술 등 많은 노력들이 시도, 진행되고 있어 귀추가 주목된다. 이러한 시점에서 MEMS/NEMS 플랫폼은 저전력 반도체식 가스센서를 구성하고 동작시키기 위한 주요기술 중 하나라고 할 수 있다. (감사의 글) 본 연구는 MOTIE와 KEIT의 SW융합형부품소재사업 (No.10043800)의 지원을 받았습니다. 이에 감사드립니다. |
| 저자 | 박준식 |
| 소속 | 전자부품(연) |
| 키워드 | <P>저전력; 반도체식; 가스센서; MEMS; NEMS; 플랫폼</P> |
