학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2005년 봄 (05/26 ~ 05/27, 무주리조트) |
권호 | 11권 1호 |
발표분야 | 나노 및 생체재료 |
제목 | Planetary Milling에 의한 TiNx의 제조 |
초록 | 본 연구에서는 planetary milling법을 사용하여 Ti 분말과 Si3N4 bowl과의 반응을 일키도록하여 TiNx을 제조하였으며, 이때 milling 시간은 1시간, 5시간, 10시간으로 조정하였다. 시편의 물성평가는 X선 회절분석을 통해 결정상의 변화를 분석을 하였으며, 그 결과 milling 시간이 5시간이 되면 비화학당량적 화합물인 TiN0.26가 먼저 생성되고 10 시간의 milling에서는 TiN0.26과 TiN이 혼재되어 있는 것이 확인되었다. 입도분석을 통해서는 particle size 분포를 조사하였고, FE-SEM으로 미세구조 분석을 하였으며, 상기 두 분석결과 milling 시간이 증가함에 따라 Ti 입자사이즈가 감소하는 것으로 나타났으며, 10시간의 milling에서는 평균사이즈 200nm급의 TiNx를 제조할 수 있었다. |
저자 | 김성진1, 박성범1, 김동식1, 권원일1, 김문협1, 라노1, 안중호2, 우흥식3 |
소속 | 1금오공과대, 2안동대, 3동국대 |
키워드 | Planetary Milling; TiN |