| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | C. 에너지/환경 재료(Energy and Environmental Materials) |
| 제목 | RIE를 이용한 이중 표면 조직화된 태양전지 연구 |
| 초록 | 본 연구는 피라미드 구조표면에 RIE를 이용한 이중 표면조직화를 수행하였으며 이에 따른 실리콘 태양전지의 특성 변화를 연구하였다. 실험에 사용된 mono like-multi 태양전지 웨이퍼는 일반적으로 사용되는 다결정 웨이퍼 보다 (100) 결정방향이 많은 부분 포함되어 있어 결정립이 적고 이방성식각시 피라미드구조 부분이 많기 때문에 높은 효율을 기대할 수 있다. 하지만 이방성식각시 (100)결정방향 이외의 부분은 피라미드 구조표면이 아닌 단층형태의 구조표면을 형성하기 때문에 상당히 높은 반사도를 보여주게 된다. 이러한 문제를 해결하기 위해 이중 표면 조직화를 수행하였다. 1차 표면조직화는 KOH와 IPA를 이용하여 80℃에서 25분 이방성 식각을 수행하였으며 2차 표면조직화는 RIE장비를 이용하여 RF Power 350W, SF6:02=60:50 공정 조건에서 실험을 수행하였다. 본 실험의 연구 결과 1차 표면조직화를 수행한 태양전지보다 2차 표면조직화를 수행한 태양전지가 △Jsc=0.4 mA/cm2, △η=0.1 % 높다는 것을 확인하였다. RIE를 이용한 2차 표면조직화가 최적화 된다면 더 높은 효율을 기대할 수 있을 것이다. |
| 저자 | 도겸선1, 송희은2, 명재민1 |
| 소속 | 1연세대, 2한국에너지기술(연) |
| 키워드 | 표면조직화; 반사도; Reactive Ion Etching |
