| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2016년 봄 (05/02 ~ 05/04, 여수 엑스포 컨벤션) |
| 권호 |
20권 1호 |
| 발표분야 |
환경에너지_포스터 |
| 제목 |
반도체 폐가스처리용 분리막 모듈 시스템 배관 설계 최적화 |
| 초록 |
본 연구에서는 반도체 공정에서 배출되는 유해 폐가스를 분리막을 통해 선택적으로 분리하여 처리하기 위한 최적화된 분리막 모듈 처리시스템을 구성하고자 한다. 이에 유해 폐가스 처리를 위한 분리막 모듈 처리시스템의 설계 및 운전 최적화를 위해서는 분리막 모듈로 유입되는 유해가스의 유량과 압력이 동일하도록 분리막 모듈의 배치를 위한 배관 설계가 최적화되어야 한다. 따라서 분배관에서 분리막에 연결되는 시점에 특별한 유량계 등에 장치를 설치하지 않고 오직 배관의 관경과 배치만으로 분리막에 유입 유량을 동일하게 할수 있다면 분리막 모듈 처리시스템의 배관 구성을 최적화함으로 비용 절감 등에 효과를 동시에 가질 수 있다. 이때 분리막 모듈에 유입되는 처리가스의 압력은 3bar 이상을 유지해야 하므로 본 연구에서는 처리가스를 압축리에서 압축해서 유입하도록 시스템을 구성하고 분리막 모듈 유입부에 압력을 안정적으로 유지하고자 하였다. 따라서 압축기에서부터 분리막 모듈까지의 배관내 폐가스 유동과 압력을 수치해석적 연구를 통하여 파악하고 이를 바탕으로 배관 직경 및 배치 등 배관 설계를 최적화하였다. |
| 저자 |
송형운, 정희숙
|
| 소속 |
고등기술(연) |
| 키워드 |
Membrane module; Waste gas; Gas pipe; Flow simulation
|
| E-Mail |
|
