화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2011년 봄 (04/07 ~ 04/08, 대전컨벤션센터)
권호 36권 1호
발표분야 분자전자용 소재 및 소자
제목 silane계열물질과 metal alkoxide을 이용한 박막트랜지스터용 절연물질 합성 및 특성연구
초록 박막트랜지스터는 차세대 디스플레이 분야에 사용될 가능성 때문에 유전체 및 유기/무기반도체 물질에 관한 연구가 활발히 진행 중 이다. 유기/무기반도체 층과의 상호작용 및 열안정성을 고려하여 polysiloxane/metal alkoxide를 이용한 절연물질을 합성하였다. metal alkoxide를 이용하여 유전상수를 개선하였으며, siloxane을 이용하여 절연특성을 향상시켰다. spin coating, dip coating 방식을 이용하여 수십nm 스케일 수준으로 박막을 제작 후 annealing 온도, 시간을 다르게 적용하고 p형 반도체로 사용되는 pentacene 을 적층하여 OTFT 특성을 조사하였다.
저자 이은주, 김홍두
소속 경희대
키워드 OTFT; 절연체
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