| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2012년 봄 (05/09 ~ 05/11, 김대중컨벤션센터) |
| 권호 | 16권 1호 |
| 발표분야 | 전기화학 |
| 제목 | 프로브 니들 제작을 위한 고경도 Ni-W 합금 도금의 특성 연구 |
| 초록 | 최근 반도체의 고집접화로 반도체의 사용이 증가함에 따라 반도체 검사 장비인 프로브 카드의 수요 또한 증가하고 있는 추세이다. 프로브 카드는 수많은 프로브 니들로 조립되어 있는데, 이 니들이 웨이퍼의 표면과 맞닿아 전기적 신호를 주고 받으면서 웨이퍼의 불량 상태를 검사하게 되며 이런 프로브 카드의 수명은 프로브 니들이 웨이프의 표면과 맞닿는 횟수에 반비례하게 된다. 따라서 높은 전기전도성과 물리적으로 강한 내구성을 가지는 프로브 니들의 제작이 필요시 되고 있다. Ni-W 합금은 고온경도, 내마모성, 내식성, 내열성, 및 전기 전도도 등 우수한 특성을 가지고 있어 본 연구에서는 pH, 전류밀도, 도금액 온도 그리고 Ni 금속염의 양 등을 변수로 하여 Ni-W 합금 도금 실험을 하였으며, 그에 따른 도금층 내 화학적 조성 도금층의 경도값을 측정하였다. |
| 저자 | 정상일, 임성봉, 이주열, 장도연, 정용수 |
| 소속 | 재료(연) |
| 키워드 | Ni-W alloy |
