| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2011년 봄 (04/07 ~ 04/08, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 36권 1호 |
| 발표분야 | 분자전자용 소재 및 소자 |
| 제목 | 용액공정 박막트랜지스터용 Spin-On-Glass/Ti 전구체의 혼합게이트절연물질 특성연구 |
| 초록 | 박막트랜지스터(TFT)는 낮은 누설전류(leakage current)와 높은 유전상수(dielectric constant)를 필요로 한다. Spin-on-glass (SOG)는 liquid type의 일반적인 층간 절연물질로 표면 평탄효과와 낮은 누설전류의 장점이 있다. 상대적으로 낮은 유전상수를 Ti 전구체를 이용하여 개선하고자 하였다. Spin-On-Glass/Ti 전구체 혼합 절연물질을 spin coating과 dip coating방식으로 형성하였고, 100~400℃의 다양한 열처리과정을 통해 TFT 특성을 조사하였다. 절연막의 특성은 유기 반도체인 pentacene과 무기반도체를 적층하여 조사한 결과, 우수한 누설전류 특성과 유전상수 개선효과를 보였다. |
| 저자 | 김연옥, 김홍두 |
| 소속 | 경희대 |
| 키워드 | TFT; 절연물질 |
