| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2007년 가을 (11/02 ~ 11/03, 한경대학교) |
| 권호 | 11권 2호 |
| 발표분야 | 나노기술 |
| 제목 | 수용성 식각 잔여물의 효과적인 건식 세정법 |
| 초록 | 최근 반도체 소자의 축소화에 동반하여 선폭이 미세화되기 때문에 높은 종횡비를 가지는 미세구조물이 세정 후 건조시에 습식용매의 계면장력으로 인하여 붕괴되는 것이 자주 발견된다. MEMS에서는 중공구조를 형성하기 위해 희생층 식각공정이 필수지만 이역시 습식식각방법으로 진행하면 약한 구조의 유착이 발생한다. 이를 극복하기 위한 방법으로 초임계 건식 식각법이 연구되고 있지만, 이러한 식각법으로부터 필연적으로 생성되는 식각부산물들이 문제점으로 나타났다. 따라서, 건식식각 후 잔류하는 부산물을 효과적으로 세정하기 위하여 특수한 화학구조의 첨가제, 순수, 알코올 및 이산화탄소로 구성한 세정혼합물을 사용하여 미세구조 사이에 잔류물을 효과적으로 제거하는 방법을 제시하였다. |
| 저자 | 정재목, 임권택, 김승호, 이민영 |
| 소속 | 부경대 |
| 키워드 | 건식세정; 초임계 이산화탄소 |
