| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2007년 봄 (05/10 ~ 05/11, 무주리조트) |
| 권호 | 13권 1호 |
| 발표분야 | 구조재료 |
| 제목 | 파이로 탄소 코팅시 유량과 내부압력 변화가 생성물에 미치는 영향 |
| 초록 | 기상 탄화수소 화합물의 분해에 의해 깨진 탄소 화합물이 시편의 표면에 증착되는데 이를 파이로카본(pyrocarbon)이라고 한다. 파이로카본은 암몰퍼스 카본의 일종으로서 고강도이며, 파티클 발생을 억제 한다. 또한 내산화성, 내화학성이 우수하여 디스플레이 공정장비 부품, 로켓노즐, 핵연료입자, 생체 재료 등 코팅하여 다양한 분야에 사용된다. 파이로리틱 카본이 생성되고 증착될 때 유량과 내부 압력을 변화시킴에 따라 pyrocarbon 혹은 soot로 상변화가 발생하였다. 본 연구에서는 프로판 가스를 사용하여 1000-1500℃에서 코팅을 실시했을 때, 유량 조절과 내부 압력에 따른 변화가 증착된 상에 미치는 영향을 확인하였고, soot가 발생되는 임계 값을 찾아내었다. 이를 통해 1um 이상의 균일하고 두꺼운 파이로카본 코팅층을 얻었다. |
| 저자 | 홍현정1, 류도형1, 허승헌1, 조광연1, 이재성2 |
| 소속 | 1요업기술원, 2한양대 |
| 키워드 | pyrocarbon |
