| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2007년 봄 (05/10 ~ 05/11, 무주리조트) |
| 권호 |
13권 1호 |
| 발표분야 |
반도체재료 |
| 제목 |
반도체 / 디스플레이 공정용 Plasma Spray 코팅 부품의 성능평가 연구 |
| 초록 |
반도체산업 및 디스플레이산업은 현재 국가기반사업으로 우리나라 수출의 주요한 부분을 차지하고 있으며 경제성장에 커다란 영향을 미치고 있다. 그러나 현재 반도체/디스플레이 공정용 코팅부품의 평가기술이 거의 전무한 실정이며 자체적인 평가를 한다하여도 평가 후, 코팅부품의 품질을 보증하기 힘들다. 본 연구에서는 반도체 공정용 부품의 평가방법과 실제적인 룰을 제공하기 위해 평가표준샘플을 제작하여 성능평가실험을 하였다. 평가표준샘플은 반도체 공정용 부품의 표면 코팅법으로 사용되는 Plasma Spray 코팅법을 이용하여 제작하고 Ar 플라즈마처리 및 건식부식처리를 하였다. 플라즈마 처리는 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)장비를 이용하였고, 코팅표면을 플라즈마에 노출시켜 표면에 인위적인 손상을 가하였다. 처리조건은 500 W의 bias와 200 sccm Ar을 사용하였으며 건식부식 실험은 자체적으로 제작한 용기를 사용하였다. 건식부식 용기에 HCl(100%) 용액을 용기에 담은 후 용기를 밀폐시켜 기화된 HCl 가스의 영향을 평가하였다. 앞의 두 공정처리 후 샘플 코팅막의 물성 변화 평가와 전기적 특성 평가를 수행하였다. 본 실험을 기반으로 반도체/디스플레이 공정용 코팅부품의 평가기술과 평가기준을 구축할 수 있을 것으로 기대된다. |
| 저자 |
유승민1, 윤주영2, 강상우2, 신재수1, 성대진2, 신용현2
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| 소속 |
1대전대, 2한국표준과학(연) |
| 키워드 |
반도체; 디스플레이; LCD; 코팅부품평가; plasma spray
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| E-Mail |
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