| 초록 |
소자가 소형화, 집적화됨에 따라 구조물의 크기가 작아지고, 나노/마이크로 크기의 물체를 기본단위로 하는 소재의 사용이 크게 늘어나고 있는 추세이다. 이에 따라 (N)MEMS 기술을 이용한 제품들이 상용화 되면서 신뢰성 있는 소자를 만들기 위해서는 이러한 구조물의 물성들을 파악하는 것이 중요하고, 특히 부품이 기계적인 운동을 하는 나노/마이크로 구조물에서는 기계적 물성이 더욱 중요한 역할을 하게 되므로 기계적 물성 평가 기술의 확립이 필요하다. 반도체나 (N)MEMS 기술을 이용한 제품들이 늘어나고 있는 반면, 나노/마이크로 크기에서의 기계적 물성 측정기술은 아직 확립되지 않은 단계이다. 본 연구에서는 소재의 나노/마이크로 기계적 특성을 평가할 수 있는 장치로 나노인덴테이션과 원자간력 현미경 기술을 이용하여 압자와 부대 장치를 설계 제작하였다. 이를 이용하여 마이크로 압축 시험을 행하여 응력 인가시의 기계적 거동의 변화를 조사, 해석하고 주사전자현미경과 투과전자현미경 평가기술을 이용하여 미세구조 변화를 관찰하여, 소재에 대한 마이크로 기계적 특성평가 기술 개발을 시도하였다. |
