| 초록 |
알루미늄은 가격대비 전기전도도가 가장 좋은 금속으로 전자 및 환경/에너지 소자의 전극과 전하전달용 회로 소재로 그 활용성이 매우 큰 소재라 할 수 있다. 그러나 알루미늄은 산화특성이 매우 커서 진공증착 공정을 제외하고는 전극화할 수 있는 기술이 소개된 바 없다. 진공증착은 전기적 특성이 매우 좋은 알루미늄 전극을 형성하는 데 매우 효과적인 공정이지만 공정이 복잡할 뿐만 아니라 공정비용이 매우 비싸며 원료소재 또한 70% 이상이 손실되는 문제점이 존재한다. 또한 7세대, 8세대 디스플레이 제조를 위해서는 진공챔버 또한 같이 커져야 하므로 시스템 및 공정비용이 그만큼 상승하게 된다. 이러한 문제를 해결할 수 있는 공정으로 습식 프린팅 공정을 들 수 있으나 그동안 산화문제로 인해 알루미늄 잉크 및 습식 프린팅 공정이 개발된 바 없었다. 본 연구에서는 알루미늄 전구체인 AlH3를 이용하여 잉크를 제조하고 이 잉크에 적합한 습식공정을 개발하여 전기적 특성과 기계적 특성이 매우 우수한 알루미늄 전극을 성공적으로 제조할 수 있었으며, 이 기술을 바탕으로 다양한 첨단 전자소자용 전극 및 전기회로를 효과적으로 구성할 수 있는 기반기술을 마련할 수 있었다. |
