| 초록 |
본 연구에서는 Titanium tetra-isopropoxide(TTIP)와 O2를 각각 precursor와 반응 가스로 사용하고 Plasma Enhanced Chemical vapor deposition(PECVD)를 이용하여 TiO2 nano powder를 제조하고 특성을 알아보았다. 이때 캐리어 가스는 Ar을 사용하였고, 공정변수로는 반응가스의 유량과 챔버의 온도, 플라즈마의 파워를 달리해가면서 TiO2 nano powder를 제조하였고, 얻어진 nano powder를 500℃로 4시간 소성하였다. 광촉매의 특성은 SEM, EDX, XRD를 이용하여 측정하였고, SEM을 통해 제조된 광촉매는 약 20~25nm의 입자 크기를 확인 할 수 있었으며, EDX 분석결과 순수하게 Ti와 O로 이루어져 있으며, XRD 분석 결과 순수한 anatase 결정 구조가 존재하였다. 제조된 광촉매의 특성을 확인하기 위해 UV-vis Spectrometer를 이용하여 메틸렌블루 분해 특성과 GC-MS를 이용하여 아세트알데히드의 분해 특성을 분석하였고, Degussa P25와 비교하였다. 아울러 PECVD로 제조된 TiO2 nano powder의 광촉매 특성평가를 통한 자료를 확보하여 추후 광촉매 응용분야의 기초자료로 사용하고자 한다. |
