| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2003년 가을 (10/10 ~ 10/11, 부경대학교) |
| 권호 | 28권 2호, p.74 |
| 발표분야 | 특별 심포지엄 |
| 제목 | Photoinduced Functional Imaging and Fluorescent Patterning of Polymer Films Based on Chemical Amplification Lithography |
| 초록 | 새로운 건식 미세 패턴 형성기술로서 광산 발생제(photoacid generator: PAG) 함유 산 분해성 고분자 필름을 이용한 광유발 기능화 광화상 형성 기법[Photoinduced Functional Imaging]이 관심을 끌고 있다. Quinizarin[Qz] 화합물에 t-BOC기를 도입하여 분자내 수소결합을 제거하면 생성된 tBQz 유도체에서 수소결합의 유무에 따라 UV 흡수 및 형광 발광 스펙트럼에 현저한 변화를 가져온다. tBQz이 결합된 고분자를 다양하게 합성하고, 광미세화상 형성기술(photolithography)을 이용하여 PAG를 함유한 tBQ-고분자 필름에서 형광 및 칼러 패턴 형성하는 데 관하여 다수의 논문을 보고하였다. 자외선 노광에 의해 PAG에서 강한 산이 발생되고, 산 촉매반응에 의한 화학증폭(chemical amplification) 작용으로 tBQz의 광산분해반응(photoacidolysis)에 따른 탈보호가 일어난다. 본 발표에서는 tBQz 측쇄를 가지는 여러 가지 단량체의 설계/합성과 중합에 관하여 발표하고, 자외선 노광/광산 발생에 의한 고분자 필름에서의 탈보호반응과 건식 형광 화상 형성에 대하여 논의하겠다. {image1} {image2} |
| 저자 | 안광덕 |
| 소속 | 한국과학기술(연) |
| 키워드 | Functional imaging; chemical amplification; t-BOC-quinizarin |
