| 초록 |
ITO 필름(Indium tin oxide)은 높은 일함수(4.8 eV)와 낮은 전기저항(∼1 × 10−4 Ω•cm), 가시광선영역에서 높은 투과율(＞85 %) 특성 때문에 광학전기산업에 투명전극으로 주로 사용되고 있다. 최근에 평판디스플레이 산업이 발달함에 따라 ITO 필름은 스마트폰, 태블릿과 같은 곳에 터치 스크린 패널(TSP)로 많이 사용되고 있으며, 좋은 TSP터치 성능을 위해 TSP 제조사들은 산성액을 사용하여 ITO 필름에 미세한 패터닝 공정(에칭)을 진행한다. 하지만, 만약 ITO 필름이 후열처리과정을 통해 결정화가 제대로 이루어 지지 않았다면, 산성액에 노출 시 내구성이 약해지는 문제점을 갖게 된다. 일반적으로 결정화를 평가하는데 있어서 사용되는 분석방법은 XRD 또는 TEM이 사용된다. XRD의 경우 측정방법이 매우 간단하나, 미세면적에 대한 결정성 평가가 어렵다. 또한, TEM의 경우 미세 면적에 대한 결정성 평가가 우수하나, 시료 전처리 및 분석비용이 매우 고가인 단점이 있다. 본 연구에서는 SEM의 Back scattered electron(BSE)를 활용하여 결정성을 확인하였다. 일반적으로 BSE는 Secondary electron과는 달리 핵을 선회한 후에도 속도가 줄지 알고 시료 표면 밖으로 방출되는 전자를 말하며, 시료의 조성에 대한 정보를 감지하는 데 유용하다. 하지만, 본 연구에서는 BSE를 활용하여 후열처리 시간에 따른 ITO필름의 표면결정성의 차이를 해석하였다. |
