| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2007년 봄 (04/12 ~ 04/13, 제주 ICC) |
| 권호 | 32권 1호 |
| 발표분야 | 기능성 고분자 |
| 제목 | Self-assembled moolayers as anti-stiction coating for imprint |
| 초록 | Ni stamper위에 100nm의 Si 코팅후 자기조립 단분자막(SAM)을 액상 코팅방식으로 형성 하였고, 내구성 및 열적 안정성을 검증하기 위해 반복적인 이형 및 압력인가test가 실시하였다. 20회 이상의 이형실험을 통해 열적, 기계적 안정성을 확인하고, 접촉각 측정을 통해 이형특성의 안정성도 고찰하였다. 이를 Imprint공법을 적용 fine pattern의 구조물을 얻을수 있었다. SAM코팅은 TRICHLOROSILANE을 사용하였으며 Hexane과 1000:1의 비율로 섞어서 stirrer에서 mixing하는 방식을 사용했으며, UV-ozone처리를 통한 이형성 제거 효과도 관찰하였다. Keywords: SAM, 이형, 접촉각, 액상법, Imprint |
| 저자 | 이상문, 곽정복, 나승현 |
| 소속 | 삼성전기 종합(연) |
| 키워드 | SAM; 이형; 접촉각; 액상법; Imprint |
