| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2007년 가을 (11/02 ~ 11/02, 성균관대학교) |
| 권호 | 13권 2호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 n-ZnO/p-GaN 이종접합 LED 제작 및 특성평가 |
| 초록 | RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 p-GaN/Al2O3 기판 상에 n-형 ZnO 박막을 성장시키고, 제작된 이종접합 LED의 구조적, 광학적, 전기적 특성을 주사전자현미경 (SEM), X-선 회절 분석 (XRD), 광발광 (photoluminescence; PL), EL 분석기법을 이용하여 조사하였다. XRD-rocking 분석 결과 반치폭 300 arcsec 의 우수한 결정성을 가진 ZnO 박막을 얻었으며, p-n 이종접합구조를 가진 LED 시료의 PL분석을 통하여 375 nm 파장의 n-ZnO 피크와 430 nm 파장을 가진 p-GaN 피크를 관찰하였다. 또한, 전형적인 p-n접합 I-V 커브 및 EL 발광 특성을 관찰하였다. |
| 저자 | 황승호, 오명원, 이병택 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | ZnO; 이종접합 LED |
