| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 | 6권 2호, p.4921 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | BST박막제조에 사용되는 Fluoronate 치환기를 갖는 strontium beta-diketonate 전구체의 열분해 특성 |
| 초록 | 본 연구는 상용으로 제조되며 BST박막제조에 이용되는 strontium 전구체의 열분해 특성을 살펴보았다. 이에 사용된 전구체로는 beta-diketonate계열에서 치환체로 불소화합물이 이용된 Sr(tfa)2, Sr(hfa)2, Sr(fod)2이다. 이들을 분석하기 위해서 열분석법인 TGA와 FT-IR Spectroscopy를 이용하였다. 이를 통해서 불소가 치환된 전구체들은 치환체에의해 전자적인 영향을 받아 metal-oxygen bond가 약해지는 특징을 나타내고 있다. 또한 metal-oxygen bond가 고온까지 남아있는경우에는 올리고머를 형성시키는 특징을 나타낸다. |
| 저자 | 조용석, 조성일, 허정식, 이도현, 문상흡 |
| 소속 | 서울대 |
| 키워드 | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
