| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2012년 가을 (10/31 ~ 11/02, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 16권 2호 |
| 발표분야 | 포스터-환경.에너지 |
| 제목 | 전자산업공정에서 발생하는 입자상 물질과 Water Vapor 제거를 위한 처리방식에 대한 비교 연구 |
| 초록 | 전자산업공정에서 발생하는 입자상 물질과 Water Vapor 제거를 위해 현재 많은 연구가 진행되어 왔다. 이에 본 연구에서는 열전소자, Filter & Mist Eliminator를 사용하여 처리하는 방식과 기존 처리방식에 대한 비교를 통해 보다 효율적인 방법을 연구하고자 한다. |
| 저자 | 권성안, 김춘이, 강효경, 이상준 |
| 소속 | 평택대 |
| 키워드 | SiO2; 열전소자; Fiter; Mist Eliminator |
