학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2009년 가을 (11/05 ~ 11/06, 포항공과대학교) |
권호 | 15권 2호 |
발표분야 | G. Display (LCD, PDP, OLED) Materials(디스플레이 재료) |
제목 | 펄스-리버스 펄스법을 이용한 구리 메쉬 형상 제어 |
초록 | 전기전자 및 통신 기기로부터 방출되는 유해 전자파를 차폐하기 위한 재료로써 Ni, Cu, Fe, Cr 및 합금, Mg 합금, stainless steel, Ag와 같은 금속재 탄소 섬유, 유연성 흑연, 전도성 고분자 등의 비금속 물질이 사용되고 있다. 이 중에서 전자파 차폐 효과가 우수하여 PDP 패널 전면에 채용되고 있는 것은 금속박막을 이용한 전자파 차폐 방법이다. PDP 패널과 같이 광학적 특성이 요구되는 제품은 높은 개구율이 필수적이므로 대부분 사각 메쉬 형상의 금속 세선과 광학 필터의 복합체로 전자파 차폐부품이 형성된다. 본 연구에서는 전기 도금 박막으로 극박 미세 메쉬를 제작하기 위해 다양한 펄스-리버스펄스을 조합이 구리메쉬 도금 형상, 결정 방위, 전기적 및 전기화학적 특성에 미치는 영향을 관찰하였다. 황산 구리 도금 기반의 구리 도금액에 저전류 밀도를 인가했을 때의 구리 도금층 표면 형상은 duty cycle에 관계없이 균일하였고, 패턴 선폭 정밀도는 은 duty cycle이 33%인 경우가 83%인 것보다 높은 현상이 나타났다. 한편, 고전류 밀도를 인가한 경우에 있어서는, 낮은 수준의 리버스 펄스 전류를 장시간 인가하는 것이 높은 수준의 리버스 펄스 전류를 단시간 인가하는 것보다 향상된 표면 형상을 유도하였다. Duty cycle에 따른 도금층 표면 형상을 관찰한 결과 25% 이하의 낮은 전류 이가 조건에서 균일한 표면이 얻어짐을 관찰하였다. |
저자 | 이주열, 이진형 |
소속 | 한국기계(연) |
키워드 | 전기도금; 미세 패턴; 고종횡비; 첨가제 |