초록 |
최근 디스플레이의 발전이 가속화 되면서 그에 따라 비메모리 반도체 산업도 동반 성장을 지속하고 있다. TCP Film은 전자부품으로 제조공정에서는 유해폐기물인 산, 알칼리의 각종 폐액이 다량 발생하기 때문에 기술이 발전하여 생산이 증가할수록 그 유해성은 더욱 커질 것으로 판단이 된다. TCP Film 제조공정에서 발생되는 폐액은 대부분이 강산성 또는 강알칼리성으로 악취가 있으며, 유독성 가스가 많이 발생하고 폐액 중 COD, CU, F, Cl 등의 농도가 높아 아직까지 처리를 위한 효과적인 방법이 개발되어 있지 않고, 지정폐기물로 분류가 되어 많은 비용을 지불하면서 전문업체에 위탁처리를 하고 있는 실정이다. 본 연구는 TCP Film 제조 과정에서 발생하는 박리폐액을 가장 환경적으로 안전하고 무해하게 처리할 뿐 아니라, 무엇보다도 경제적으로 처리할 수 있는 방법을 모색하기 위한 연구로서 탈수 및 건조에 의한 무방류 처리를 목적으로 한다. 또한 이에 따르는 모든 반응 공정과 아울러 결과물에 대한 검토도 시도하였다. |