화학공학소재연구정보센터
학회 한국공업화학회
학술대회 2014년 봄 (04/30 ~ 05/02, 제주국제컨벤션센터)
권호 18권 1호
발표분야 포스터-환경.에너지
제목 반도체(TCP Film) 제작공정 중 발생되는 박리폐액의 처리
초록 최근 디스플레이의 발전이 가속화 되면서 그에 따라 비메모리 반도체 산업도 동반 성장을 지속하고 있다. TCP Film은 전자부품으로 제조공정에서는 유해폐기물인 산, 알칼리의 각종 폐액이 다량 발생하기 때문에 기술이 발전하여 생산이 증가할수록 그 유해성은 더욱 커질 것으로 판단이 된다. TCP Film 제조공정에서 발생되는 폐액은 대부분이 강산성 또는 강알칼리성으로 악취가 있으며, 유독성 가스가 많이 발생하고 폐액 중 COD, CU, F, Cl 등의 농도가 높아 아직까지 처리를 위한 효과적인 방법이 개발되어 있지 않고, 지정폐기물로 분류가 되어 많은 비용을 지불하면서 전문업체에 위탁처리를 하고 있는 실정이다.  본 연구는 TCP Film 제조 과정에서 발생하는 박리폐액을 가장 환경적으로 안전하고 무해하게 처리할 뿐 아니라, 무엇보다도 경제적으로 처리할 수 있는 방법을 모색하기 위한 연구로서 탈수 및 건조에 의한 무방류 처리를 목적으로 한다. 또한 이에 따르는 모든 반응 공정과 아울러 결과물에 대한 검토도 시도하였다.
저자 최승렬, 이유석, 전태영, 김재용
소속 충북대
키워드 TCP Film; 박리폐액; 탈수/건조
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