| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트) |
| 권호 | 15권 1호 |
| 발표분야 | 에너지환경재료 |
| 제목 | 화학증기수송법을 이용한 금속 몰리브덴 박막 증착 |
| 초록 | 몰리브덴(Mo)은 우수한 전기전도도와 고온 안정성으로 인해 전자부품의 전극으로 널리 사용되고, 미래 에너지인 태양전지 분야에서 CIS계 화합물박막태양전지의 후면전극으로 이용되고 있는 재료로서 현재 증착 방법으로는 D.C. sputtering이 가장 널리 이용되고 있다. 또한 MoO3 분말이 Mo 분말로 수소 환원되는 과정은 MoO3+H2 → MoO2+H2O 와 MoO2+2H2 → Mo+2H2O 의 2단계를 통해서 수행되며 이중 첫 번째 단계에서 MoO3(OH)2라는 기상을 통해 지배적으로 일어난다고 알려져 있고 이를 화학증기수송(Chemical vapor transport : CVT)이라고 한다. 본 연구에서는 MoO3분말의 수소 환원 과정 중에 발생하는 기상인 MoO3(OH)2 을 이용하여 몰리브덴 옥사이드 박막을 증착하고 이를 다시 수소분위기에서 수소 환원하는 증착 방법을 통해 균일하고 부착성이 우수한 Mo 박막을 제조하고자 하였다. 기판으로 사용된 Glass를 MoO3 분말 위에 홀더를 이용하여 MoO2 박막을 증착하고 이를 다시 수소분위기에서의 수소 환원을 통해 Mo 박막을 성공적으로 제조하였다. 제조된 Mo박막의 결정구조 및 미세조직을 XRD 와 SEM을 통해 분석하였다. |
| 저자 | 박창원, 이영중, 김대건, 김영도 |
| 소속 | 한양대 |
| 키워드 | 몰리브덴; 태양전지; 화학증기수송법 |
