| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
G. Display (LCD, PDP, OLED) Materials(디스플레이 재료) |
| 제목 |
Effects of temperature and thickness on water vapor barrier properties of Al2O3/TiO2 multi-layer barrier films on polyethersulfone substrates |
| 초록 |
OLED 기술을 이용한 플렉시블 디스플레이의 경우 수분과 산소가 OLED를 구성하는 유기물에 침투하여 dark spot 발생으로 인해 수명을 단축 시킨다. 이러한 OLED소자와 플라스틱 기판의 수분과 산소에 의한 수명 단축을 막기 위해 원자층 증착법에 의한 Al2O3와 TiO2박막을 PES 플라스틱 기판에 온도, 플라즈마, 두께에 따른 공정조건에 따라 다양한 구조의 박막을 증착 하였다. 공정 조건에 따라 박막의 밀도, Carbon의 함유량이 달라지는 것을 알 수 있었으며 치밀하고 밀도가 높은 박막을 얻기 위한 공정 조건을 확립하였다. 플라스틱 기판의 플라즈마 파워에 의한 데미지를 막기 위해 초기 공정은 약한 플라즈마 파워를 상부막은 높은 밀도를 갖는 플라즈마 파워를 사용하였다. 또한 내부 defect에 의한 수분 통과를 지연 또는 막아주기 위해 Al2O3와 TiO2의 적층 구조를 이용하여 MOCON TEST에 의한 WVTR 특성 평가를 하였다. 이렇게 플라스틱 필름에 다층구조의 보호막을 적용했을 시 플라스틱 필름의 투습률 특성이 개선됨을 알 수 있었고, OLED lifetime또한 증가하는 것을 알 수 있었다. 이런 특성 향상을 통해 플렉시블 디스플레이 소자, 특히 OLED 기술을 이용한 소자의 수명을 연장시킬 수 있을 것으로 기대된다. |
| 저자 |
권태석1, 문연건2, 김웅선2, 문대용1, 김경택2, 박종완2
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| 소속 |
1한양대 나노반도체공학과, 2한양대 신소재공학과 |
| 키워드 |
OLED; WVTR; passivation
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