| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2016년 봄 (04/06 ~ 04/08, 대전컨벤션센터) |
| 권호 |
41권 1호 |
| 발표분야 |
분자전자 부문위원회 I |
| 제목 |
Development of highly fluorinated high-k hybrid nanoparticle solution for fabricating dielectric layer by solution process. |
| 초록 |
OTFT의 구성요소의 하나인 dielectric layer에는 다양한 high-k 무기산화물을 사용하고 있으며, OTFT 전반에 대한 용액공정 시도와 함께 무기산화물에 대한 용액공정에 대한 연구도 진행되고 있다. High-k 무기산화물 표면에 유기 리간드를 도입한 hybrid nanoparticle를 합성하여 유기용제에 분산시키는 방법에 대한 다양한 시도가 있었다. 하지만 hybrid nanoparticle을 분산시킨 유기용제가 용액공정을 통한 소자의 적층에 있어 상하부층의 물질에 damage를 줄 수 있다는 치명적인 단점이 있다. 우리는 이러한 단점을 극복하고자 유기물과 상용성이 적어 소자의 상하부에 damage를 최소화할 수 있는 불소용제에 분산 가능한 fluorinated hybrid nanoparticle을 합성하였다. 합성한 nanoparticle을 불소용제에 우수하게 분산하였으며, 용액공정의 방법 중 하나인 spin-coating을 통해 metal-insulator-metal(MIM) diode 소자를 제작할 수 있었다. 제작된 MIM diode 소자의 capacitance 측정을 통해 약 20의 유전상수를 확인할 수 있었다. |
| 저자 |
김영태, 김미선, 이진균
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| 소속 |
인하대 |
| 키워드 |
High-k hybrid nanoparticle; Fluorous solvent; Dielectric layer; OTFT
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| E-Mail |
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