| 초록 |
현재 보고된 실리카 AWG는 굴절률 제어를 위해 Dopant를 사용한다. 상대적으로 굴절률이 높은 Core에는 Dopant의 양이 많아지는데, 특히 Ge은 상부클래딩 공정온도인 1000℃이상에서 확산현상 때문에 코어 주위 클래딩층의 굴절률변화를 야기시켜 AWG 특성에 영향을 주게 된다. 이것은 AWG 수율 문제로 대두되어 복잡한 공정과 경제성에서 문제가 된다. 하지만 상부클래드에 폴리머를 사용하게 되면, 낮은 공정온도와 core 확산현상이 방지되기 때문에 crosstalk, 3dB bandwidth 등의 특성에 영향을 주지 않는다. 저광손실을 갖는 플루오르화 폴리머를 합성하여 실리카 core 위에 상부클래드로 사용하여 16, 40채널 AWG를 제작하여 광학 특성을 측정하였으며, 그에 따른 결과를 분석하였다. 제작된 Hybrid 40채널 AWG의 경우, Loss -2.5~-5.0dB, crosstalk 0.4nm의 특성을 나타내어 기존의 실리카 AWG에 비해 core 확산에 의한 특성의 영향은 없었으나, 열팽창계수가 다른 이종간의 재료를 사용하는데서 기인된 stress에 의해 PDL은 >1.0dB 으로 측정되었다. 하지만, 공정온도의 조절과 UV 경화 공정의 도입으로 PDL을 |
