| 초록 |
유연성 소자를 만들기 위해 유연성 기판에 투명 전극을 증착하는 연구를 수행하였다. 알루미늄이 포함된 산화아연 타겟을 이용해 RF magnetron sputtering으로 증착하였다. 유연성 기판으로 PEN (polyethylene naphthalate) 고분자 기판을 사용하였고 증착 변수로 압력, 온도, 플라즈마 전력, 타겟과 기판과의 거리 등의 영향을 규명하였다. 주요 물성으로 전기전도도와 광투과도를 측정하였다. 각 변수가 증착속도에 미치는 영향, 박막의 결정성에 미치는 영향을 규명하였다. 또한 유리 기판에 증착하는 경우와 비교하여 고분자 기판이 주는 영향을 규명하였다. 플라즈마 전력이 커지면 증착속도는 증가하였고 박막의 밀도는 저하되는 경향이 나타났다. 압력은 낮을수록 증착속도가 높았고 결정성도 우수하게 나타났다. 온도가 높을수록 막질은 우수하게 나타났으나 PEN 기판의 경우는 유리전이 온도인 122도 이하에서 증착을 해야 한다. 기판과 타겟 사이의 거리는 짧을수록 증착속도도 높았고 결정성과 전기전도도도 우수하게 나타났다. 전반적으로 유리기판에 증착된 박막보다는 고분자 기판에 증착된 박막의 특성이 떨어지는 것으로 나타났다. |
