화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교)
권호 7권 2호, p.5211
발표분야 재료
제목 Poly-p-xylylene을 이용한 유기발광소자의 Encapsulation에 관한 연구
초록 본 연구는 [2.2]paracyclophane을 전구체로 사용하여 TCVD(thermal chemical vapor deposition)법으로 poly-p-xylylene(PPX) 박막을 유기발광소자(OLED) 위에 증착시켜 encapsulation에 관한 연구이다. 증착된 박막의 두께는 0.3-1.5 ㎛이였으며, 증착속도는 16.7-83.3 Å/min이었고, 박막은 pinhole의 생성없이 고르게 증착되었다. PPX로 encapsulation을 한 소자는 encapsulation을 하지 않은 소자에 비해서 약 2배정도 수명이 증가하였는데, 이는 PPX의 낮은 수분투과성 및 산소투과성에 의해 대기 중 수분, 산소 및 기타 오염물로부터 소자를 보호하기 때문이다. PPX 박막의 특성분석은 FT-IR, 광학현미경, SEM, α-Step profilometer로 측정하였다.
저자 이태진, 이준호, 김형식, 김정문, 박진호
소속 영남대
키워드 OLED; organic light emitting diode; poly-p-xylylene; PPX; parylene; TCVD
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