| 초록 |
본 연구에서는 MgMoO4 모체 결정에 희토류 이온 Eu3+를 도핑하여 제작한 적색 발광 형광체 박막의 광학적 특성을 조사하였다. 형광체 박막은 라디오파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 석영 기판 위에 성장되었다. 증착은 두 종류로 수행되었다. 첫번째 증착 조건은 RF 파워 40 W, 성장 온도 100, 200, 300, 400 ℃에서 증착한 후에 870 ℃에서 급속 열처리 공정을 실행하였다. 두번째는 박막의 광학 특성을 향상시키기 위하여 성장 온도 400 ℃에서 증착한에 서로 다른 열처리 온도 (800-950℃)를 변수로 선택하여 실험을 수행하였다. 증착 온도 의존성의 경우에, 614 nm의 강한 적색 발광 피크는 100 ℃에서 성장한 박막에서 관측되었으며, 열처리 온도 의존성의 경우에는 800 ℃에서 급속 열처리 한 시료에서 검출되었다. UV-VIS 분광 광도계를 사용하여 측정한 결과, 박막의 평균 투과도는 76 %, 밴드갭 에너지는 4.0 eV이었다. 서로 다른 열처리 온도에서 성장한 박막의 경우에 평균 투과도는 81 %, 밴드갭 에너지는 4.3 eV이었다. X-선 회절 장치로 측정한 박막의 결정 구조는 단사정계이었다. |
