화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1997년 봄 (04/25 ~ 04/26, 동국대학교)
권호 3권 1호, p.353
발표분야 분리기술
제목 Tripropylsilane의 기상 화학 증착법에 의한 다공성 알루미나를 담지한 SiC 분리막의 제조와 고온에서의 가스 투과 선택도
초록 The silicon carbide (SiC) membrane was formed in macropores of an a-alumina support tube by CVD of tripropylsilane at 700-800\’a1C with a forced cross-flow through the pore wall. The membrane permeated gases by Knudsen diffusion mechanism. At a permeation temperature of 30-600\’a1C, however, hydrogen permeance was as high as 5x10-7mol.m-2.s-1.Pa-1, and H2/H2O permselectivity was 3-5.
저자 MOROOKA
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