| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 봄 (04/26 ~ 04/27, 강원대학교) |
| 권호 | 8권 1호, p.1841 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | ALCVD를 이용한 Zirconium Silicate 박막의 증착 특성 |
| 초록 | 본 연구는 ALCVD공정을 이용하여 차세대 게이트 절연막으로 유력한 Zirconium Silicate 박막을 증착해 보고 박막의 증착 특성에 대해서 살펴본 연구이다. 각 소스의 주입시간과 퍼지시간을 변화시키면서 증착된 Silicate 박막의 증착특성을 살펴본 결과 ALD공정을 수행할 수 있는 조건을 최적화 할 수 있었다. 또한 온도가 증가함에 따라 박막내 Zr의 조성비와 불순물의 양이 감소하는 것도 확인되었다. |
| 저자 | 이시우1, 김원규2, 강상우, 이내인, 이종호, 강호규 |
| 소속 | 1포항공과대, 2삼성전자(주) 선행공정개발팀 |
| 키워드 | ALCVD; Zirconium Silicate |
| , , | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
