화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교)
권호 6권 2호, p.4925
발표분야 재료
제목 전산 유체 역학을 이용한 Modified HVPE 반응기의 유동해석
초록 본 연구에서는 GaN 기판 제작 기술 개발의 한 단계로서 기존의 HVPE법을 개선 한 Modified HVPE 반응기를 직접 설계, 제작하였으며, CFD를 이용하여 반응기 내에서의 유체 흐름에 대한 특성을 분석하였다.
저자 최순욱, 박진호
소속 영남대
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