학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
권호 | 6권 2호, p.4925 |
발표분야 | 재료 |
제목 | 전산 유체 역학을 이용한 Modified HVPE 반응기의 유동해석 |
초록 | 본 연구에서는 GaN 기판 제작 기술 개발의 한 단계로서 기존의 HVPE법을 개선 한 Modified HVPE 반응기를 직접 설계, 제작하였으며, CFD를 이용하여 반응기 내에서의 유체 흐름에 대한 특성을 분석하였다. |
저자 | 최순욱, 박진호 |
소속 | 영남대 |
키워드 | |
원문파일 | 초록 보기 |