| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트) |
| 권호 | 16권 2호 |
| 발표분야 | B. Nano materials and processing Technology(나노소재기술) |
| 제목 | 그래핀의 대면적 합성 및 나노재료 관찰용 TEM grid로의 적용 |
| 초록 | 최근 나노기술의 발전과 함께 나노미터 크기의 물질들의 물성과 미세구조 등을 분석하기 위한 노력들이 활발히 이루어지고 있다. 투과전자현미경(TEM)은 나노물질의 미세구조 관찰, 화학성분분석, 전자기적 특성평가가 가능한 초정밀 분석장비이다. TEM 관찰을 위한 시편의 제작방법에는 이온밀링, 집속이온빔장치(FIB), 박편제작기(Microtome), 그리드사용 등 많은 방법들이 있다. 그중 TEM 그리드(grid)를 사용하는 방법은 분석하고자 하는 물질을 망(mesh) 형태의 그리드에 도포하여 샘플을 준비하는 방법으로 다른 방법에 비하여 아주 빠르고 간편한 장점이 있다. 그러나 TEM 그리드에 나노물질을 분산/도포하여 공중에 떠있는 형태로 샘플을 제작하려면, 나노물질이 mesh 사이로 빠져 나오지 않도록 그리드 mesh의 간격이 아주 미세하여야 하는데, 일반적으로 mesh의 크기가 미세할수록 그리드의 가격은 높아진다. 또한 기존에 사용되고 있는 비정질 탄소박막으로 덮여진 그리드는 극미세 크기의 나노물질 및 탄소나노물질을 분석할 경우, 고해상도의 TEM 상을 얻는데 한계가 있다. 본 발표에서는 열화학증기증착법을 이용하여 고순도의 그래핀을 대면적으로 합성한 결과와 합성한 그래핀을 구조변형 없이 저가의 TEM 그리드에 전사함으로써, 나노물질이 그리드 mesh사이로 빠져 나오지 않는 저가의 나노재료 관찰용 TEM 그리드 제작에 대한 내용을 소개한다. |
| 저자 | 이병주, 정구환 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | 그래핀; 대면적 합성; TEM grid |
